デジタルプロセスイノベーションセンター

デジタルプロセスイノベーションセンター(DIC)は、機械学習(Machine Learning) 等の最先端デジタル技術を研究し、システム基盤を構築、⼯場への展開を推進する部⾨です。クラウド、ビッグデータそしてIoT等の先端技術を導⼊し、完全⾃律型⼯場である「スマートファクトリー」の実現を⽬指します。3次元フラッシュメモリ「BiCS FLASH™」を中⼼とする最先端フラッシュメモリを製造するためには、製造⼯程(プロセス)における「装置」 情報をコンピュータによって集中管理し、制御する必要があります。またフラッシュメモリの世界的需要に応えるため、⾼度な「⾃動⽣産」システムを構築し、⾼い⽣産性を維持しながら、⼯程内での徹底的な「品質管理」も行っています。

デジタルプロセスイノベーションセンター

技術紹介

自動生産システム

生産工程内の装置管理フロー

生産工程内の装置管理フロー

フラッシュメモリの製造⼯程は、⾮常に複雑です。⾞の組み⽴てのように直線的に⼯程が進むのではなく、複雑な組み合わせで⼯程が進みます。フラッシュメモリを製造するために、⼯場では常時約200機種5,000台の装置が稼働しています。各装置において、フラッシュメモリはSi ウエハの形で「FOUP」と呼ばれる清浄度の⾼いケースに⼊れられて、装置間を移動しています。装置にセットされる「着⼯」の後、「処理」または「測定」が⾏われます。終了後は別の⼯程の装置に「搬送」され、1つの⼯程が終了します。フラッシュメモリの⾼い品質を保つために、装置に対しては「管理」、「点検」そして「保守」も⾏われています。全装置の能⼒最⼤化そして⾼精度管理を実現するため、DICでは最先端のデジタル技術を導⼊し、「⾃動⽣産システム」を実現しています。

製造工程における品質管理

生産工程における品質管理

生産工程における品質管理

フラッシュメモリの製造⼯程では、製造に際して、処理時間・条件、温度・湿度センサー値等を「装置履歴」として保存しています。また途中⼯程における検査・計測の「⼯程結果」、更に最終段階の電気特性「評価結果」も全て「デジタルデータ」として保存しています。これらはビッグデータとしてシステム化されており、1⽇40TBに⾄ります。DICでは、これらのデータ基盤を活⽤し、機械学習(Machine Learning)を導⼊したデータ解析を⾏っています。その結果、⼯程途中においても最終製品の品質や特性を予測することが可能であり、製造⼯程の改善や制御を⾏いながら、徹底した「品質管理」を行っています。

デジタルイノベーション実現に向けて

フラッシュメモリの⼯場から出⼒されるデータは、テキスト・数値・画像そして動画等もあり、規模だけではなく、種類も多様です。データ毎に最適なデジタル解析技術が必要になるため、DICではシリコンバレーの最先端技術を導⼊するだけでなく、国内の⼤学や他企業とのオープンイノベーションの場の構築も進めています。

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